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洁净气源各部份说明：
使用要求
为了确保制氮机碳分子筛的使用寿命最长，以达到运行指针，用于气体分离工艺的空气须经压缩和净化。含有灰尘、水蒸气和碳氢化合物等杂质的环境空气经过喷油润滑螺杆压缩机压缩，再通过冷干机和多级过滤器除去杂质，可获得具有呼吸质量的洁净空气。
系统简述
压缩空气供给净化主要是为制氮系统提供洁净的压缩空气。首先由空气压缩机提供压缩空气，在进入储罐稳压后，通过主管路过滤器，过滤大部分液态水和颗粒较大的粉尘杂质，然后进入冷冻干燥机，强制冷却压缩空气，使压缩空气中的饱和水冷凝并排出，最后经过空气管路过滤器、超高效除油过滤器和活性碳过滤器，得到洁净的压缩空气。主要包括：空气压缩机、储罐、冷冻干燥机、叁级精密过滤器。
础、空气压缩机：
选用螺杆式空压机，该机具有压缩效率高，运行成本低廉，噪音低，振动小 ，配置有计算机智能型等特点。（建议配制）
叠、空气储罐：
保持供给气体的压力稳定；降低压缩空气的温度；除去压缩空气中液态水和油。
颁、压缩空气处理系统
冷冻干燥机： 利用制冷原理强制冷却压缩空气，使压缩空气中的水蒸气在低温下过饱和，冷凝结露，分离压缩空气中的水分，使压缩空气的压力露点降到2-10℃。
主管路过滤器 ： 去除或分离压缩空气中大量液体
除油精度 1ppm
除尘精度 1um
空气管路过滤器 ： 去除或分离压缩空气中悬浮态的油雾
除油精度 0.01ppm
除尘精度 0.01um
微油精过滤器 ： 去除或分离压缩空气中悬浮态的油雾
除油精度 0.01ppm
高效活性炭过滤器 ： 进一步去除油雾。